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                    铂悦仪器(上海)有限公司

                    您当前的所在位置为:首页??>??产品中心??>???反射膜厚仪??>??反射膜厚仪-MProbe系列

                    反射膜厚仪-MProbe系列

                    品 牌:Semiconsoft

                    产 地:德国

                    型 号:MProbe系列

                    关键词标签:反射膜厚仪im体育手机版官网im体育手机版官网;膜厚测试仪;反射式膜厚仪;反射光谱干涉法;Semiconsoft;MProbe
                    021-37018108在线留言

                    产品概述

                    当一束光入射到薄膜表面时,薄膜上表面和下表面的反射光会发生干涉im体育手机版官网,干涉的发生与薄膜厚度及光学常数等有关,反射光谱薄膜测厚仪就是基于此原理来测量薄膜厚度。

                    反射光谱干涉法是一种非接触式im体育手机版官网、无损的、快速的光学薄膜厚度测量技术im体育手机版官网im体育手机版官网。

                    测量范围: 1 nm - 1 mm

                    波长范围: 200 nm -8000 nm

                    光斑尺寸:2mum -3 um

                     

                    产品特点:

                    a. 高的测量精度:0.01nm或0.01%

                    b. 准确度:1nm或0.2%

                    c. 稳定性:0.02nm或0.02%

                    d. 强大的软件材料库,包含500多种材料的光学常数

                    e. 通过Modbus TCP或OPC协议,与其他设备联用

                    适用于实时在线测量im体育手机版官网,多层测量im体育手机版官网,非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等

                    大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量im体育手机版官网。比如:氧化物im体育手机版官网,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶硅),半导体化合物(AlGaAs, InGaAsim体育手机版官网im体育手机版官网,CdTe, CIGS),硬涂层(碳化硅im体育手机版官网,类金刚石炭)im体育手机版官网,聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

                     

                    标准配置中包含:

                    1. 主机(光谱仪,光源,电线)

                    2. 反射光纤

                    3. 样品台及光纤适配器

                    4. TFCompanion软件

                    5. 校准套装

                    6. 测试样品,200nm晶圆

                    多种型号可选,每个型号对应不同的测量范围:

                    测量n和k值,其厚度范围需在25纳米和5微米之间

                     

                    广泛的应用于各种工业生产及工艺监控中:

                    半导体晶圆,薄膜太阳能电池,液晶平板,触摸屛,光学镀膜,聚合物薄膜等

                    半导体制造:· 光刻胶          · 氧化物        · 氮化物

                    光学镀膜:· 硬涂层          · 抗反射涂层         · 滤波片

                    生物医学:· 聚对二甲苯         · 生物膜厚度         · 硝化纤维

                     

                     

                    点击了解更多产品信息

                    马上联系我们的应用团队:info@boyuesh.com

                     

                     

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