"

欢迎光临⚽im体育手机版官网✅亚洲权威-信誉品牌-游戏公司✅im体育手机版官网_多款游戏集于一体_顶尖原生app_im体育手机版官网|非常注重玩家体验⚽邀请您入住��️‍��

        <form id="bljrp"><form id="bljrp"></form></form>

        <address id="bljrp"></address>
        <address id="bljrp"></address>

            <form id="bljrp"></form>

            <form id="bljrp"></form><form id="bljrp"><form id="bljrp"><nobr id="bljrp"></nobr></form></form>

            <address id="bljrp"><nobr id="bljrp"></nobr></address>

                    "

                    铂悦仪器(上海)有限公司

                    您当前的所在位置为:首页??>??产品中心??>???硅片表面形貌/晶圆测量??>??晶圆厚度测量系统 FSM 413 EC

                    晶圆厚度测量系统 FSM 413 EC

                    品 牌:Frontier Semiconductor

                    产 地:美国

                    型 号:FSM 413 EC

                    关键词标签:晶圆厚度测量系统;薄膜应力量测系统;翘曲度测量;表面粗糙度测量;FSM 413 EC
                    021-37018108在线留言

                    非接触式厚度测量,可以测量背面研磨减薄和刻蚀后的极薄晶圆,也可测量粘附在蓝膜或者其他载体上的有图形或凸起的晶圆,可应用于堆叠芯片和微机电系统。

                    独特优势:
                           FSM413回波探头传感器使用具有专li的红外(IR)干涉测量技术,可以直接和测量从厚到极薄的晶圆衬底厚度变化和总体厚度变化。配置单探头系统,可以测量一些对红外线透明的材料,例如Si, GaAs, InP, SiC, 玻璃,石英和一些聚合物,还可以高精度测量常规有图形、有胶带、凸起或者键合在载体上晶圆的衬底厚度。配置双探头系统时,还提供晶圆整体厚度测量(包括衬底厚度和在光不能穿透的情况下的图形高度厚度)。选配功能可以测量沟槽深度和通孔深度(包括微机电中的高深宽比的沟槽和通孔)。另外微机电应用中薄膜厚度测量和凸块高度测量也可以选配。

                    基于FSM Echoprobe红外线干涉测量专li技术,提供非接触式芯片厚度和深度测量方法。

                    Echoprobe技术利用红外光束探测晶圆。 
                    Echoprobe可用于测量多晶硅、蓝宝石、其它复合物半导体,例如GaAs, InP, GaP, GaN    等。 
                    对晶圆图形衬底切割面进行直接测量。

                     

                    行业应用:

                    主要应用在研磨芯片厚度控制、芯片后段封装、TSV(硅通孔技术)、(MEMS)微机电系统、 侧壁角度测量等。
                    针对LED行业, 可用作检测蓝宝石或碳化硅片厚度及TTV 

                    其它应用:
                    ·  沟槽深度测量
                    ·  表面粗糙度测量
                    ·  薄膜厚度测量
                    ·  环氧厚度测量

                    Echoprobe™ 回波探头技术可提供对极薄晶圆(<100um)的衬底厚度或粘结结构上的极薄衬底进行直接和测量。

                     

                     

                    点击了解更多产品信息

                    马上联系我们的应用团队:info@boyuesh.com

                     

                     

                     
                    在线留言
                    联系我们

                    电话:86-021-37018108

                    传真:86-021-57656381

                    邮箱:info@boyuesh.com

                    地址:上海市松江区莘砖公路518号松江高科技园区28幢301室

                    扫码关注
                    Copyright ? 2013 铂悦仪器(上海)有限公司 版权所有 备案号:沪ICP备10038023号-1
                    im体育手机版官网